Handbook of plasma processing technology - fundamentals, etching, deposition, and surface interactions
- Författare
- (Edited by Stephen M. Rossnagel, Jerome J. Cuomo, William D. Westwood.)
- Genre
- Bibliografi
- Språk
- Engelska

Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
---|---|---|---|---|
Noyes Publ. | cop. 1990 | USA, Park Ridge, N.J | xxiii, 523 sidor. ill. |