Handbook of plasma processing technology - fundamentals, etching, deposition, and surface interactions

Författare
(Edited by Stephen M. Rossnagel, Jerome J. Cuomo, William D. Westwood.)
Genre
Bibliografi
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
Noyes Publ. cop. 1990 USA, Park Ridge, N.J xxiii, 523 sidor. ill.